XDLM型X射线光谱仪有着出色的长期稳定性,这样就不需要经常校准仪器了。XDLM 系列仪器专门是为在质量控制和生产监控中,测量分析超薄镀层和超低含量而设计的。
联系部门:仪器仪表部
联系人: 周妙
联系方式:0512-67622709
典型的应用领域有:
• 测量大规模生产的零部件
• 测量微小区域上的薄镀层
• 测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层
• 全自动测量,如印刷线路板中各个测量点的连续自动测量.
用途 | 能量色散X射线荧光光谱仪 (EDXRF) ,测量薄镀层和微小结构样品,分析合金组分。 | ||
可测量元素范围 | 可测量从氯(17)到铀(92)中的元素 | ||
设计理念 | 台式仪器,测量门向上开启 | ||
测量方向 | 从上到下 | ||
X射线源 | 带铍窗口的微聚焦钨管 | ||
高压 | 三种可调高压:30 kV,40 kV,50 kV | ||
孔径(准直器) | 4个可切换准直器:标准型(523-440):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;矩形0.05 x 0.05mm;0.2 x 0.03mm 可选 (523-366):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;Ø 0.3 mm;矩形0.3 x 0.05 mm 可选 (524-061):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;矩形0.3 x 0.05 mm;0.05 x 0.05mm 可按要求定制其它规格 | ||
基本滤波片 | 3个可更改的基本滤片(标准型仪器:镍,铝,无) | ||
测量区域大小 | 取决于测量距离及使用的准直器大小,视频窗口中显示的就是实际的测量点尺寸,使用矩形0.05 x 0.05mm准直器,最小的测量点面积约为Ø 0.1 mm。 | ||
测量距离,如样品为腔体时 | 0 ~ 20 mm, 校准范围,使用专利保护的DCM功能 20 ~ 80 mm, 非校准范围,使用专利保护的DCM功能 | ||
X射线接收器 | 比例接收器 | ||
视频显微镜 | 高分辨 CCD彩色摄像头,用于查看测量位置 ,手动或自动聚焦,十字线刻度和测量点大小经过校准,测量区域的LED照明亮度可调,激光光点用于精确定位样品。 | ||
放大倍数 | 20 ~180x (光学变焦:20x ~ 45x; 数字变焦: 1x,2x,3x,4x) | ||
样品台 | XDLM 231 | XDLM 232 | XDLM 237 |
设计理念 | 固定式样品平台 | 手动 X/Y平台 | 马达驱动可编程X/Y平台 |
最大移动距离 | - | 95 x 150 mm | 255 x 235 mm |
X/Y平台移动速度 | - | - | ≤ 80 mm/s |
X/Y平台移动重复精度 | - | - | ≤ 0.01 mm (单向) |
可用样品平台面积 | 463 x 500 mm | 420 x 450 mm | 300 x 350 mm |
Z轴 | 可电动调节 | 可电动调节 | 可编程 |
Z轴升降距离 | 140 mm | 140 mm | 140 mm |
样品最大重量 | 20 kg | 20 kg | 5 kg, 降低精度可达20kg |
样品最大高度 | 140 mm | 140 mm | 140 mm |
电气参数 |
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线电压,频率 | AC 115 V 或 AC 230 V 50 / 60 Hz |
能耗 | 最大 120 W (测量头,不包括计算机) |
保护等级 | IP40 |
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尺寸大小 |
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外部尺寸 | 宽x深x高[mm]:570 x 760 x 650 |
重量 | 约120 kg |
内部测量舱尺寸 | 宽x深x高[mm]:460 x 495 x146 |
环境条件要求 |
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温度:测量时 | 10°C – 40°C / 50°F – 104°F |
温度:存储或运输时 | 0°C – 50°C / 32°F – 122°F |
空气相对湿度 | ≤ 95 %,无结露 |
计算单元 |
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计算机 | 带扩展卡的计算机系统 |
软件 | 标准型:菲希尔WinFTM® LIGHT 可选 :菲希尔WinFTM®BASIC,PDM®,SUPER |
执行标准 |
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CE合格标准 | EN 61010 |
X射线标准 | DIN ISO 3497和 ASTM B 568 |
批准 | 型式许可符合德国”Deutsche Röntgenverordnung-RöV“法令要求的有完善防护措施的测量仪器。 |
订购号 |
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FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 231 | 604-345 |
FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 232 | 604-346 |
FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 237 | 604-347 |
| 可按要求,提供额外的XDLM型产品更改和XDLM仪器技术咨询 |
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